スマート圧力トランスミッタ差圧トランスデューサ金属容量性圧力センサー

簡単な説明：

中間圧力は、バリアダイアフラムとシリコンオイルによってδルームの中央にあるテストダイアフラムに伝達されます。テストダイアフラムは堅くて柔軟な要素であるため、圧力差に応じて変位が発生します。ダイヤフラムの変位と差圧は方向に比例し、最大変位は0.1mmです。両側の容量性プレートによってテストされます。その後、テストダイヤフラムと容量性基板の間の差動コンデンサが標準出力に切り替わります。回路電流。